?

電器生產(chǎn)行業(yè)半導(dǎo)體制造工藝有機(jī)廢氣處理設(shè)備

電器生產(chǎn)行業(yè)半導(dǎo)體制造工藝有機(jī)廢氣處理設(shè)備摘要

#廢氣處理設(shè)備#電子廠涉及到的行業(yè)很多,不同行業(yè)在工藝上有一定差異,產(chǎn)生的廢氣種類也有一定的差異,今天就從半導(dǎo)體行業(yè)入手為大家介紹電子廠廢氣處理。電子廠半導(dǎo)體廢氣的處理主要針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的治理,我們嘗試使用低溫等離子廢氣處理技術(shù)。半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的有機(jī)廢氣,主要可以分為,半導(dǎo)體制造工藝有機(jī)廢氣,和半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機(jī)廢氣?! “雽?dǎo)體制造工藝  1、電子行業(yè)生產(chǎn)廠家處理有機(jī)廢

  #廢氣處理設(shè)備#電子廠涉及到的行業(yè)很多,不同行業(yè)在工藝上有一定差異,產(chǎn)生的廢氣種類也有一定的差異,今天就從半導(dǎo)體行業(yè)入手為大家介紹電子廠廢氣處理。電子廠半導(dǎo)體廢氣的處理主要針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的治理,我們嘗試使用筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)。半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的有機(jī)廢氣,主要可以分為,半導(dǎo)體制造工藝有機(jī)廢氣,和半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機(jī)廢氣。

  半導(dǎo)體制造工藝

  1、電子行業(yè)生產(chǎn)廠家處理有機(jī)廢氣和毒氣的處理方法

  現(xiàn)在,半導(dǎo)體制造過(guò)程中排放的含有有機(jī)成分的廢氣(voc)通常采用直接焚燒、活性炭吸附、生物氧化等方法進(jìn)行處理。

  2、針對(duì)電子廠廢氣處理半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的治理,筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)的凈化原理是:

  將普通的220V/380V交流電通過(guò)變壓器,變頻器轉(zhuǎn)換為高頻高壓的電壓,產(chǎn)生足以擊穿氣體的電壓,釋放出高能電子,高能電子破壞有機(jī)廢氣中的氣體分子之間的化學(xué)鍵,斷開(kāi)這些化學(xué)鍵從而產(chǎn)生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體,等離子體中的氧原子和碳原子結(jié)合形成二氧化碳,氧原子和氫原子結(jié)合形成水分子,最終產(chǎn)生排放到大氣中的氣體為無(wú)污染的二氧化碳(CO2)和水(H2O)。

  3、電子廠廢氣處理筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn):

  放電產(chǎn)生的筒式沸石轉(zhuǎn)輪體中,電子能量高,幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。

  反應(yīng)快,不受氣速限制。

  采用防腐蝕材料。

  只需用電,操作極為簡(jiǎn)單。

  設(shè)備啟動(dòng)、停止十分迅速,隨用隨開(kāi),常溫常壓下即能使用。

  氣阻小,適用于大風(fēng)量的廢氣處理。

  4、電子廠廢氣處理筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路生產(chǎn)企業(yè)、分立器件生產(chǎn)企業(yè)、光電組件生產(chǎn)企業(yè)。

  5、半導(dǎo)體企業(yè)廢氣排放特征分析

  半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。

  6、半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒氣的來(lái)源

  半導(dǎo)體制造工藝產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)廢氣,主要來(lái)源于光刻、顯影、刻蝕及擴(kuò)散等工序,與半導(dǎo)體制造工藝相比,半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機(jī)廢氣較為簡(jiǎn)單,主要為晶粒粘貼、封膠后烘烤過(guò)程產(chǎn)生的烘烤廢氣。

  含毒氣性廢氣,其來(lái)源為化學(xué)氣相沉積、干蝕刻機(jī)、擴(kuò)散、離子布值機(jī)及磊晶等制程時(shí)所產(chǎn)生。主要成分是磷化氫等。

  電子廠廢氣處理半導(dǎo)體筒式沸石轉(zhuǎn)輪技術(shù),在實(shí)際設(shè)計(jì)中,需要加洗滌塔作為預(yù)處理裝置,來(lái)攔截粉塵和易溶性的酸堿廢氣。

  針對(duì)排放的腐蝕性強(qiáng)的氯化氫酸性廢氣,采用兩級(jí)堿噴淋塔處理系統(tǒng)對(duì)其進(jìn)行處理。通過(guò)對(duì)比產(chǎn)生、排放濃度和速率可知,該處理系統(tǒng)對(duì)氯化氫酸性廢氣的去除效率可達(dá)95%以上。電子行業(yè)企業(yè)產(chǎn)生的腐蝕性強(qiáng)、有毒有害的氯化氫酸性廢氣,可采用兩級(jí)堿噴淋塔凈化工藝,以達(dá)到高效凈化、經(jīng)濟(jì)可行、穩(wěn)定性高的效果。


本文《電器生產(chǎn)行業(yè)半導(dǎo)體制造工藝有機(jī)廢氣處理設(shè)備》由天清佳遠(yuǎn)發(fā)布,如有疑問(wèn)歡迎聯(lián)系我們。

上一篇:半導(dǎo)體新材料制造產(chǎn)生的廢氣怎么處理好呢? 下一篇:半導(dǎo)體行業(yè)VOCs治理難點(diǎn),附案例方案

與電器生產(chǎn)行業(yè)半導(dǎo)體制造工藝有機(jī)廢氣處理設(shè)備有關(guān)的文章

熱門文章

?

Copyright ? 2016-2024天清佳遠(yuǎn) 版權(quán)所有 地址:廣東省江門市鶴山市古勞鎮(zhèn)三連工業(yè)區(qū)66號(hào)(天清佳遠(yuǎn))"手機(jī)/微信: "18038755391"

粵ICP備16063597號(hào)

我們?yōu)槟峁?a href="http://m.uludbtl.cn/" title="催化燃燒">催化燃燒的信息介紹,囊括了沸石轉(zhuǎn)輪、沸石轉(zhuǎn)輪廠家、圖片、品牌等參數(shù)。全面了解廢氣處理設(shè)備、沸石轉(zhuǎn)輪濃縮催化燃燒、活性炭吸附催化燃燒設(shè)備等的相關(guān)信息,請(qǐng)聯(lián)系我們。

一鍵撥號(hào)