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半導體行業(yè)VOCs治理難點,附案例方案

半導體行業(yè)VOCs治理難點,附案例方案摘要

半導體作為一個高科技產業(yè),往往被誤解為“清潔”產業(yè),但事實上,半導體生產過程中使用了大量的有機和無機物質,包括許多有毒有害物質,這些物質對環(huán)境具有一定的影響。半導體生產可以分為晶體材料生產、晶片制造和器件組裝三個階段,其中污染最為嚴重的主要是晶片制造階段,有機廢氣的產生便來源于這一階段的光刻、顯影、刻蝕及擴散等工藝。半導體生產制造過程中產生的VOCs污染物成分復雜,主要有各類烷烴、烯炔烴類、芳族化

半導體作為一個高科技產業(yè),往往被誤解為清潔產業(yè),但事實上,半導體生產過程中使用了大量的有機和無機物質,包括許多有毒有害物質,這些物質環(huán)境具有一定的影響


半導體生產可以分為晶體材料生產、晶片制造和器件組裝三個階段,其中污染最為嚴重的主要是晶片制造階段,有機廢氣的產生便來源于這一階段的光刻、顯影、刻蝕及擴散等工藝。


半導體生產制造過程中產生的VOCs污染物成分復雜,主要有各類烷烴、烯炔烴類、芳族化合物以及酮、醚類等,具有風量大濃度低的特點。我國已成為半導體產業(yè)大戶,且各地制定了相應的排放標準。


天清佳遠在VOCs領域有著豐富的治理經驗,在半導體有機廢氣治理行業(yè)有所建樹,做過不少成功案例。多年來,可迪爾堅持用專業(yè)的技術為業(yè)主設計合適的治理工藝,全面解決生產中所面臨的污染超標問題,保障正常生產。今天,小編帶大家一起去看看有關半導體行業(yè)有機廢氣治理的部分項目案例。


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