半導體新材料制造產(chǎn)生的廢氣怎么處理好呢?
半導體新材料制造產(chǎn)生的廢氣怎么處理好呢?摘要
隨著科技的發(fā)展,目前市場上新材料行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比,其應用范圍更廣了,新材料產(chǎn)業(yè)的研究與開發(fā)投入高,產(chǎn)品的附加值高在生產(chǎn)與市場的國際性強,而且新材料半導體行業(yè)的發(fā)展前景好。而新材料半導體行業(yè)在加工的過程中采用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑,這些溶劑中含有大量的有機物成分,在整個工藝加工的過程中將會有部分的有機溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放,這部分揮發(fā)的廢氣主要成分為具有揮發(fā)性的VOCs,
隨著科技的發(fā)展,目前市場上新材料行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比,其應用范圍更廣了,新材料產(chǎn)業(yè)的研究與開發(fā)投入高,產(chǎn)品的附加值高在生產(chǎn)與市場的國際性強,而且新材料半導體行業(yè)的發(fā)展前景好。而新材料半導體行業(yè)在加工的過程中采用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑,這些溶劑中含有大量的有機物成分,在整個工藝加工的過程中將會有部分的有機溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放,這部分揮發(fā)的廢氣主要成分為具有揮發(fā)性的VOCs,下面講解一下關于:新材料半導體行業(yè)的廢氣應該怎么處理。#催化燃燒廢氣處理設備#
新材料半導體行業(yè)的廢氣除了含有VOCs以外,還混有HCl、氨、HF等危險污染物,天清佳遠采用的是RTO蓄熱式焚燒爐來處理半導體行業(yè)的廢氣:工業(yè)廢氣中主要含有酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體四種,自身具有的溶解特性,半導體工業(yè)的氣體雖然排放量大,但是氣體的濃度低。
RTO設備采用的是高溫破壞焚燒的廢氣治理技術,升溫能源一般是電和天然氣,其高溫需高達700度或者以上,雖然溫度需高達700度左右,但是其實消耗的能源并不多,設備運行期間部分的熱能是能夠回收重新利用的,降低能量消耗的同時提高了廢氣分子的燃燒反應速率。
天清佳遠環(huán)境半導體材料廢氣處理設備的凈化效率可維持穩(wěn)定在99%以上。
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