集成電路是當今信息技術產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎和源動力，隨著電子元件的變革，以集成電路為核心的微電子技術已經(jīng)滲透到現(xiàn)代通訊、信息技術、計算機、醫(yī)療、能源等國民經(jīng)濟和社會發(fā)展的各個領域，在迅速發(fā)展的同時，面臨諸多環(huán)境問題。

　　項目背景

　　在廣東省珠海市有一家電路板產(chǎn)業(yè)園區(qū)，主要涉及電子元器件制造、電子專用材料研發(fā)、金屬材料等領域。園區(qū)內(nèi)有眾多廠家，在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生大量有機廢氣，為了履行社會責任，響應當?shù)卣h(huán)保減排的要求，園區(qū)新增廢氣處理設備以保證園區(qū)內(nèi)企業(yè)達標排放。

　　深入現(xiàn)場、勘察工況

　　通過現(xiàn)場勘察，我們發(fā)現(xiàn)各廠家使用的油墨種類不同，所產(chǎn)生的廢氣也不盡相同，大致分為兩類，一類是不含自聚物的VOCs，一類是含有自聚物的VOCs。為了保證設備長期穩(wěn)定運行，我們?yōu)椴煌男再|(zhì)的廢氣設計了不同的治理工藝。

　　方案設計

　　不含UV油墨廢氣成分：苯系物及非甲烷總烴：苯系物、酮類、醚類

　　風量：91300m3/h和86000m3/h

　　濃度：100~200mg/m3

　　工藝：沸石轉輪濃縮+CO爐焚燒*2套

　　含UV油墨廢氣成分：苯系物、酯類、丙烯酸

　　風量：25300m3/h和31600m3/h

　　濃度：100~250mg/m3

　　工藝：活性炭+CO*2套

　　項目驗收

　　經(jīng)過第三方檢測，處理后的VOCs排放濃度＜30mg/m3 ，滿足《廣東省電子工業(yè)揮發(fā)性有機物排放標準》的要求。