如今新的《大氣污染防治法》、《大氣污染防治行動計劃》、《揮發(fā)性有機物(VOCs)污染防治技術政策》等法規(guī)的陸續(xù)頒布，我國對VOCs處理標準和力度逐步增強。剝離液、稀釋液等其造成的有機廢氣具有大風量、低濃度芯片制造業(yè)因為大量采用有機溶液作為清洗劑、光刻膠等特點。

　　為了更好地有效地處理此類VOCs廢氣，沸石轉輪吸附濃縮法成為了行之有效的優(yōu)選處理方案。沸石轉輪采用沸石分子篩作為吸附劑，具有耐高溫、較高機械強度等性能，可以滿足連續(xù)吸咐、脫附的需求。針對不同的VOCs成份，應有目的性地選用吸附效率高的沸石分子篩作為吸附劑，才能達到理想的、高效的VOCs處理效果。

　　因此，文中以芯片廠為調(diào)查樣本，研究其VOCs廢氣成份，為其沸石轉輪系統(tǒng)的沸石分子篩選擇提供值得借鑒的方案和建議?，F(xiàn)階段芯片制造業(yè)涉及揮發(fā)性有機物包括：異丙醇、丙酮、二甘醇胺、二甲基乙酰胺、丙二醇單甲醚乙酸酯(PMG)、乙二酸、醋酸等。

　　研究人員對沸石吸附劑對芯片制造業(yè)有機廢氣的吸附等溫線研究結果顯示：沸石分子篩對該行業(yè)有機廢氣具有較高的吸附容量和吸附效率，屬于有利的吸附等溫線。此外，沸石分子篩還具有耐高溫、機械強度高等性能，在處理VOCs廢氣方面具有較高的綜合性能。其中，異丙醇是芯片生產(chǎn)制造過程中最常用的清洗劑；PMG是稀釋劑、光刻膠等物質(zhì)的主要成分。兩者的年消耗量巨大，僅上海某芯片工廠，這2種物質(zhì)的年用量以百噸計，是其VOCs有機廢氣中的主要污染物。
　　廣東天清佳遠環(huán)境科技有限公司生產(chǎn)的沸石轉輪催化燃燒裝置吸附選擇性強，運行成本低，使用壽命長，維護成本低，吸附脫附可連續(xù)運行，脫附達到能循環(huán)狀態(tài)節(jié)約能耗等優(yōu)點。預處理過濾效率大于99%，凈化效率高于95%，整個裝置采用模組化設計，滿足了小空間的需求，且提供持續(xù)及無人化的操控模式。搭載了天清佳遠云服務系統(tǒng)，實時遠程監(jiān)控設備的運行狀況，采集并記錄設備的運行數(shù)據(jù)，有專業(yè)人員對數(shù)據(jù)進行分析，共享給用戶，讓用戶隨時了解設備運行狀況，并提出合理的運行建議，必要時主動迅速的為用戶提供服務，及時為客戶解決問題。