半導(dǎo)體行業(yè)廢氣治理方案方案概述

半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理，按照其廢氣處理工藝分為：酸性廢氣處理（SEX）、堿性廢氣處理(AEX)、有機(jī)廢氣處理(VEX)和一般排氣(GEX)等；其廢氣處理系統(tǒng)包括：酸性廢氣處理設(shè)備、堿性廢氣處理設(shè)備、有機(jī)廢氣處理設(shè)備等；酸、堿廢氣處理設(shè)備有：洗滌塔，又名噴淋塔、吸收塔；有機(jī)廢氣處理設(shè)備有：活性炭吸附裝置、直燃式熱氧化廢氣焚燒爐（TO）等。

方案特點(diǎn)

技術(shù)路線

1 活性炭 / 沸石+催化燃燒

凈化原理: 有機(jī)廢氣通過活性炭/沸石吸附飽和后，采用熱空氣進(jìn)行脫附再生，脫附后的高濃度廢氣經(jīng)催化燃燒排空。催化燃燒利用熱空氣或熱氮?dú)鈦砻摳疆a(chǎn)生的高濃度廢氣，有機(jī)廢氣在貴金屬催化劑的作用下于250~400℃之間催化氧化為CO2和H2O，并釋放大量的熱量，通過熱交換器對(duì)熱量進(jìn)行再利用。

2 沸石轉(zhuǎn)筒+三塔式RTO

本技術(shù)是沸石轉(zhuǎn)輪吸附同蓄熱式焚燒技術(shù)的組合工藝，凈化系統(tǒng)主要由三級(jí)干式過濾裝置、沸石轉(zhuǎn)輪濃縮吸附裝置、RT0、風(fēng)機(jī)、換熱器、PLC自動(dòng)化控制系統(tǒng)組成。該組合技術(shù)通過沸石轉(zhuǎn)輪的吸附濃縮使大風(fēng)量、低濃度有機(jī)廢氣濃縮為小風(fēng)量、高濃度濃縮氣體，高濃度濃縮氣再經(jīng)RTO高溫燃燒分解為(CO2和H2O等無機(jī)成分。