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半導體行業(yè)廢氣處理,該選活性炭吸附催化燃燒,還是沸石轉輪催化燃燒

半導體行業(yè)廢氣處理,該選活性炭吸附催化燃燒,還是沸石轉輪催化燃燒摘要

雖然很多半導體行業(yè)采用了活性炭吸附箱+催化燃燒技術路線,而且天清佳遠也做了很多的案例。不過還是很多在問,哪種更好?技術方面確實有差別,而成本方面也導致很多客戶采用了活性炭吸附箱+催化燃燒技術路線。實際上,天清佳遠為越來越多的廠家業(yè)主推薦的是沸石轉輪+催化燃燒技術路線。半導體工業(yè)中常用的有機溶劑和揮發(fā)性有機物,如光刻膠、溶劑蒸汽等,都可以通過沸石轉輪催化燃燒技術進行處理。而光刻膠和溶劑蒸汽中的有機物

雖然很多半導體行業(yè)采用了活性炭吸附箱+催化燃燒技術路線,而且天清佳遠也做了很多的案例。不過還是很多在問,哪種更好?

技術方面確實有差別,而成本方面也導致很多客戶采用了活性炭吸附箱+催化燃燒技術路線。實際上,天清佳遠為越來越多的廠家業(yè)主推薦的是沸石轉輪+催化燃燒技術路線。

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半導體工業(yè)中常用的有機溶劑和揮發(fā)性有機物,如光刻膠、溶劑蒸汽等,都可以通過沸石轉輪催化燃燒技術進行處理。而光刻膠和溶劑蒸汽中的有機物濃度通常較高,活性炭在吸附一定量有機物后很快達到飽和狀態(tài),導致吸附效果下降。

  • 處理效率:

    • 沸石轉輪催化燃燒:處理效率穩(wěn)定在99%以上。
    • 活性炭吸附箱催化燃燒:處理效率80%-90%之間。
  • 安全性:

    • 沸石轉輪催化燃燒:安全風險較低,催化燃燒過程穩(wěn)定可靠。
    • 活性炭吸附箱催化燃燒:存在一定安全隱患,活性炭易發(fā)生自燃。
  • 材料更換周期:

    • 沸石轉輪催化燃燒:材料更換周期長,幾乎不需要額外的材料更換費用。
    • 活性炭吸附箱催化燃燒:材料更換周期較短,需要定期更換活性炭,增加了運營成本。
  • 成本:

    • 沸石轉輪催化燃燒:操作維護成本較少。
    • 活性炭吸附箱催化燃燒:活性炭更換和催化劑再生成本較高,運營成本較高。



天清佳遠的客戶案例,經過設備安裝并投入運行一段時間后,該廠廢氣排放濃度顯著降低,處理效率穩(wěn)定在99%以上。同時,沸石轉輪催化燃燒技術的安全性得到了驗證,催化燃燒過程穩(wěn)定可靠,幾乎沒有安全風險。此外,由于沸石轉輪的吸附能力強,材料更換周期長,幾乎不需要額外的材料更換費用,降低了運營成本。

通過沸石轉輪催化燃燒技術的應用,該半導體制造廠成功解決了廢氣處理難題,實現了廢氣排放的“清潔、高效、安全”。同時,也為其他同行業(yè)企業(yè)提供了一種可行的廢氣處理方案。


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