三塔式RTO蓄熱式焚燒爐在半導(dǎo)體制造業(yè)中的應(yīng)用實(shí)踐
三塔式RTO蓄熱式焚燒爐在半導(dǎo)體制造業(yè)中的應(yīng)用實(shí)踐摘要
2.1 背景某半導(dǎo)體制造企業(yè)在制程廢氣處理方面面臨挑戰(zhàn)，需要一種高效且環(huán)保的解決方案。2.2 應(yīng)用細(xì)節(jié)應(yīng)用領(lǐng)域半導(dǎo)體制造業(yè)制程廢氣處理廢氣類型制程廢氣、氣相污染物設(shè)備處理能力15,000 Nm3/h廢氣濃度100-800 ppm（波動(dòng)）廢氣處理效率99%以上能源回收率94%以上運(yùn)行時(shí)長每日20小時(shí)2.3 成功經(jīng)驗(yàn)高效廢氣處理： 三塔式RTO蓄熱式焚燒爐成功處理了半導(dǎo)體制造中復(fù)雜的氣相污染物，廢氣處
2.1 背景
某半導(dǎo)體制造企業(yè)在制程廢氣處理方面面臨挑戰(zhàn)，需要一種高效且環(huán)保的解決方案。
2.2 應(yīng)用細(xì)節(jié)
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 半導(dǎo)體制造業(yè)制程廢氣處理 |
|---|---|
| 廢氣類型 | 制程廢氣、氣相污染物 |
| 設(shè)備處理能力 | 15,000 Nm3/h |
| 廢氣濃度 | 100-800 ppm（波動(dòng)） |
| 廢氣處理效率 | 99%以上 |
| 能源回收率 | 94%以上 |
| 運(yùn)行時(shí)長 | 每日20小時(shí) |
2.3 成功經(jīng)驗(yàn)
高效廢氣處理： 三塔式RTO蓄熱式焚燒爐成功處理了半導(dǎo)體制造中復(fù)雜的氣相污染物，廢氣處理效率維持在99%以上，確保了廢氣排放達(dá)標(biāo)。
能源高效利用： 設(shè)備能源回收率達(dá)到94%以上，通過回收廢氣中的熱能，為企業(yè)提供了額外的能源來源，降低了能源開支。
穩(wěn)定運(yùn)行： 在每日20小時(shí)運(yùn)行的情況下，設(shè)備表現(xiàn)出色，維持高效、穩(wěn)定的運(yùn)行狀態(tài)，為制程提供了可靠的廢氣處理解決方案。
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