有機廢氣凈化的熱氧化法是基于廢氣中有機化合物可以燃燒氧化的特性，其目的是:通過燃燒將廢氣中可氧化的組分轉化為無害物質。在廢氣中含CHO化合物的情況下，即轉化為CO2和HzO。

當然，由于有機廢氣中所含有的有害物質組分的不同、濃度不同、燃燒過程的溫度控制因素的不同及不同的燃燒方式，存在各種熱氧化及熱分解過程。燃燒過程始終伴隨著熱量的產生，不同的熱量回收和利用方式，構成了不同類型的燃燒凈化方式和燃燒凈化裝置。

蓄熱燃燒RTO:是在熱氧化裝置中加入蓄熱式熱交換器，預熱VOC廢氣,再進行氧化反應，蓄熱式熱交換器的熱回收率已能達到95%以上。

催化燃燒CO:采用催化劑可以降低有機廢氣氧化所需的活化能，并提高反應速率，從而可在較低的溫度下進行氧化燃燒，使有機物轉化為無害物質。