太陽能電池行業(yè)在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的污染環(huán)境的氣體，常見的有用水清洗多晶硅料產(chǎn)生的有氮氧化物、VOCs有機廢氣和酸霧。在此過程中會產(chǎn)生各種廢氣，如果直接排入大氣，會對環(huán)境和周邊人員健康造成很大影響，必須經(jīng)過尾氣處理設備凈化處理。那么太陽能電池板廢氣怎么處理?

　　一、廢氣種類及來源

　　目前太陽能電池生產(chǎn)所產(chǎn)生的廢氣主要有酸堿排氣、有機排氣、硅烷氨氣排氣及熱排氣，都需要進行尾氣處理設備處理后，廢氣達標方可排入大氣中。其廢氣來源有以下幾個方面：

　　1.酸性廢氣：主要來源來自太陽能電池生產(chǎn)中的制絨和去磷硅玻璃工序產(chǎn)生的HF、NOx等酸性氣態(tài)污染物。

　　2.擴散廢氣：擴散工序產(chǎn)生的廢氣主要是CL2。

　　3.刻蝕廢氣：刻蝕廢氣中的污染物主要為HF、CO2和少量的SiO2。

　　4.PECVD 廢氣：PECVD廢氣主要為未發(fā)生反應的SiH4、NH3和反應生成的H2。

　　5.印刷廢氣和燒結(jié)廢氣：印刷和燒結(jié)工序廢氣主要是由于漿料中的有機溶劑等物質(zhì)揮發(fā)的有機氣態(tài)物質(zhì)，有機物的產(chǎn)生情況與漿料的成分、含量等因素密切相關

　　二、太陽能電池板廢氣處理方法

　　太陽能電池板廢氣主要污染物有：硅烷廢氣、噴漆廢氣、酸性廢氣、有機溶劑揮發(fā)。對于不同的廢氣種類所采用的廢氣處理方法不同，主要有以下幾種方法：

　　噴淋塔噴淋法 催化燃燒法 活性炭吸附法 現(xiàn)在最常用的是以活性炭作為吸附介質(zhì)，廢氣通過活性炭吸附裝置，由于在固體吸附劑（活性炭）和有機揮發(fā)物之間存在的分子間引力（范德華力），使廢氣中的有機物被活性炭吸附，從而使氣體得到凈化?；钚蕴课皆O備處理效率高、投資小、操作方便。